晶圆厂天花板上的小机器人

导读

走进晶圆厂洁净室，首先映入眼帘的是庞大、难懂又昂贵的设备；第二眼会看到头顶天花板上缓慢穿梭的小列车。它们成百上千，时停时走、切换轨道，偶尔放下或提起装着晶圆的盒子。这些天车是晶圆厂最酷的部分之一，负责把晶圆从厂房一端送到另一端。